- 最大6インチ角までの小型基板に対応。
- ディスクブラシと2流体ツールを搭載。（その他のツールについてはご相談ください）
- アルカリ洗浄剤と中性洗浄剤の使用が可能。
- ユーティリティー（用力）は工場ラインと接続。
- コンパクト設計。
- 低価格。
- 研究開発向け設備として最適な外形サイズ。
- 各種電子部品分野にも幅広く活用可能。
- 各種プロセス装置として応用可能。
- デモンストレーションテストに対応可能。
- コータ、現像、エッチングの各処理装置をラインアップ。
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