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N2精製機
(不活性ガス循環精製機)
密閉容器内で不活性ガスを循環させ、酸素濃度、水分濃度ともに1ppm以下の環境を維持する装置。

大型ガラス基板向け
バッチ式洗浄装置
最大2,000mm角の大型基板に対応。基板のエッジを保持する搬送ロボットにより、各槽に浸漬させて精密洗浄する装置。

ウエット処理装置基板を搬送しながら洗浄、現像、エッチングなどのウエットプロセスを処理する装置。

ウェット処理装置(FOPLP向け)FPD業界で世界NO.1のシェアを持つSCREEN Finetechの現像機を含むWET装置を、「Fan Out Panel Level Package」向けに展開。

薬液濃度管理システム薬液濃度管理システムは、高価なエッチング液をはじめとする薬液の濃度を正確に採取し、一定の濃度に制御することにより、薬液の消費量の削減とプロセスの安定化を実現するシステム。

Roll to Roll ウエット処理装置フレキシブルデバイス用R2R WETプロセッサー 高性能化するフレキシブルデバイスのためFPD製造装置の技術をロールツウロール(R2R)へ 展開し、繊細な超薄板ガラスの対応を可能としました。

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