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Roll to Roll ウエット処理装置

高精細フレキシブルデバイスの製造を可能にするRoll to Roll精密洗浄装置を開発しました。
ディスプレー製造装置で得た知識・経験から多種多様な洗浄技術をデバイスに応じて組み合わせて提案する弊社のプロセス技術に加え、超薄板ロールガラス搬送を可能にした新技術を導入しました。
これにより従来のRoll to Roll洗浄装置ではできなかった、高レベルでのパーティクル除去、有機物除去、静電気除去が可能になりました。

 

  • 装置構成
    巻出し+WET洗浄+乾燥+IR+UV+巻取り

    基材幅:300mm

    対応可能基材
    樹脂フィルム:各種樹脂フィルム 50μ〜150μ
    超薄板ガラス:50μ

    SUS箔:50

     

  • ITO付き超薄板ガラスの搬送状況

    納入先
    山形大学有機エレクトロニクスイノベーション
    センター

    経済産業省/産学連携イノベーション促進事業
    山形大学有機薄膜デバイスコンソーシアム(2013/4〜2016/3)

    http://inoel.yz.yamagata-u.ac.jp/F-consortium/

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