高精細フレキシブルデバイスの製造を可能にするRoll to Roll精密洗浄装置を開発しました。
ディスプレー製造装置で得た知識・経験から多種多様な洗浄技術をデバイスに応じて組み合わせて提案する弊社のプロセス技術に加え、超薄板ロールガラス搬送を可能にした新技術を導入しました。
これにより従来のRoll to Roll洗浄装置ではできなかった、高レベルでのパーティクル除去、有機物除去、静電気除去が可能になりました。
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装置構成
巻出し＋WET洗浄＋乾燥＋IR＋UV＋巻取り
基材幅：300mm
SUS箔：50
対応可能基材
樹脂フィルム：各種樹脂フィルム 50μ〜150μ
超薄板ガラス：50μ
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ITO付き超薄板ガラスの搬送状況
納入先
山形大学有機エレクトロニクスイノベーション
センター
経済産業省/産学連携イノベーション促進事業
山形大学有機薄膜デバイスコンソーシアム(2013/4〜2016/3)
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